近年来随着硅漂移探测器性能不断改进、基本参数法日益完善和谱处理电子学线路由模拟电路改为数字电路,能量色散X射线荧光光谱仪在小型化、智能化、专业化制造和应用方面有了质的飞跃,现已成为生产质量控制、生态环境监测、地质普查、医药食品检测和文物分析等诸多领域的*分析仪器之一,被普遍应用于实验室分析、现场和原位分析。由于硅漂移探测器在300Kcps情况下仍有130ev的分辨率,除超轻元素的分析外,能量色散光谱仪在分析的精确度和准确度方面已基本达到波长色散光谱仪的水平。